設備描述
生產主線為:設置為自動晶舟上貨,將晶舟置于Robot上貨區位置,按下【啟動鍵】,Robot將自動以夾持方式移至制程槽進行預設之制程,完成設備本身設定之流程,達成一貫性自動控制的功能。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優質件,性能可靠,使用壽命長;及背部設有吸風口,為防止污染空氣,用戶需外接風管抽風。本機臺是IPC工業電腦加PLC控制的全自動控制系統。
*視窗為雙層設計,操作安全 *設備占地面積小
*噴淋裝置噴淋均勻無死角 *加熱材料高純無污染,in-line加熱
*有限控制金屬、材料及微粒子的交叉 *溫度自動校準
*軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全 *支持SMIF自動傳輸
*實時記錄生產數據,多種數據分析功能 *軟件支持GEM/SECS接口,提供PAP MES等功能
*工藝柔性化設計,工藝更改方便迅速 *優化配管設置,節約DIW消耗量
*藥液濃度實時監控系統 *多工藝數據庫,可供用戶適用和儲存
*槽體流場控制技術 *高效藥液回收系統
*Maragoni Dryer 低破片率,高潔凈度 *較潔凈藥液回收利用,節約藥液使用
*易燃化學品安全穩定加熱系統 *易燃化學品搭載消防系統及切斷排風系統,符合消防安全
*自主知識產權的軟件系統 *系統自動排程,多工位并發處理,高效率運行
*擁有多項軟件著作權 *工藝預置,過程數據記錄和生產管理
*PC上位機和PLC觸摸屏的控制和人機交互界面