設備描述
生產主線為：設置為自動晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨區位置，按下【啟動鍵】，Robot將自動以夾持方式移至制程槽進行預設之制程，完成設備本身設定之流程，達成一貫性自動控制的功能。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優質件，性能可靠，使用壽命長；及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是IPC工業電腦加PLC控制的全自動控制系統。
*視窗為雙層設計，操作安全 *設備占地面積小
*噴淋裝置噴淋均勻無死角 *加熱材料高純無污染，in-line加熱
*有限控制金屬、材料及微粒子的交叉 *溫度自動校準
*軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全 *支持SMIF自動傳輸
*實時記錄生產數據，多種數據分析功能 *軟件支持GEM/SECS接口，提供PAP MES等功能
*工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速 *優化配管設置，節約DIW消耗量
*藥液濃度實時監控系統 *多工藝數據庫，可供用戶適用和儲存
*槽體流場控制技術 *高效藥液回收系統
*Maragoni Dryer 低破片率，高潔凈度 *較潔凈藥液回收利用，節約藥液使用
*易燃化學品安全穩定加熱系統 *易燃化學品搭載消防系統及切斷排風系統，符合消防安全
*自主知識產權的軟件系統 *系統自動排程，多工位并發處理，高效率運行
*擁有多項軟件著作權 *工藝預置，過程數據記錄和生產管理
*PC上位機和PLC觸摸屏的控制和人機交互界面